多數操作人員對日本理學波長色散X射線熒光光譜儀檢定規程可能不大清楚或者并沒有具體的操作，儀德公司分享采用日本理學波長色散X射線熒光光譜儀對項目檢定方法操作實例，方便廣大用戶進行學習，本方法來源于網絡數據供參考用，不做商業用。

檢定項目操作實例

以日本理學X射線熒光光譜儀為例，以表1為技術指標，進行分析測試。

1、精密度測試

精密度以12次連續重復測量的相對標準偏差RSD表示。每次測量都必須改變機械設置條件，包括晶體、計數器、準直器、2θ角度、濾波片、衰減器和樣品轉臺位置等。

上式中：s——n次測量的標準偏差；N——n次測量的平均計數值；Ii——第i次測量的計數率；T——測量時間；n——測量次數。

測定條件1：純銅或黃銅塊樣品，測量CuK_α的計數值或計數率，LiF晶體，細準直器，無濾光片，無衰減器，閃爍計數器，真空光路，計數時間10s。測定條件2：純鋁塊樣品，測量AIKα的計數值或計數率，PET晶體，粗準直器，加濾光片和衰減器，流動氣體正比計數器，真空光路，計數時間1s或2s。X射線源電壓設置在40kV或50kV。調節電流，使測定條件l中CuK_α的計數率為100~200kcps。條件1和條件2交替測定，每個條件分別測定12次。連續12次測量中，如有數據超出平均值±3s，實驗應重做。表2給出了采用銅塊進行儀器精密度的統計結果。

精密度（表2）

2、穩定性的測試

儀器的穩定性用相對極差RR表示：

式中：N_max——測量過程中最大計數值；N_min——測量過程中最小計數值；N——整個測量的平均計數值。

測定條件：用不銹鋼塊標準物質測量CrK_α或NiK_α的計數值或計數率，LiF晶體，調節電壓和電流，使CrK_α或NiK_α的計數率高于100kCPS，計數時間40s，連續測量400次。表3給出了穩定性的統計結果。

穩定性（表3）

3、X射線計數率的測試

按被檢儀器技術標準規定的測試條件，測量每一塊晶體或每一個固定道對某一個分析元素特征X射線的計數率。對照表1中技術指標相應部分，使其測定值滿足≥儀器技術標準規定的測量條件下初始計數率的50%，或≥儀器出廠指標值的80%。表4中測量結果均符合要求。

X射線計算率（表4）

4、探測器能量分辨率的測試

探測器的能量分辨率以脈沖高度分布的半峰寬和平均脈沖高度的百分比表示：

式中：R——探測器的能量分辨率；W——脈沖高度分布的半峰寬；V——脈沖高度分布的平均高度。

4.1、流動氣體正比計數器

用純鋁塊量塊測量AIKα輻射線。設置脈沖高度分析的窗寬，使窗口通過脈沖高度分布的全寬度TW，調節X射線源的電壓和電流，使計數率在20~50kCPS。選擇窄的道寬(平均脈沖高度的2%左右)，逐次提高下限，以微分形式繪制脈沖高度分布曲線，并計算能量分辨率R。

4.2、閃爍計數器

用純銅或黃銅塊量塊測量CuKα輻射線。測量步驟與流動氣體正比計數器測量步驟相同。

探測器能量分辨率的結果見表5。

5、儀器計數線性的測試

5.1、流動氣體正比計數器

用純鋁塊量塊測量AIKα輻射線。X射線源電壓設置在30kV或40kV，電流分別為2，5，10，15，20，25，30，40，50，60，70mA，依次測量AIKα輻射的計數率，計數時間取10s，每個電流值的計數率測量3次，取平均值。測定結果按圖1的形式繪制計數率對電流的曲線，并計算90%或60%儀器規定最大線性計數率時的計數率偏差CD：

探測器能量分辨率

式中：I0——由線性直線給出的計數率值，在此為90%或60%儀器規定最大線性計數率；I——由實測工作曲線給出的計數率值。測量時，X射線管的使用功率不超出額定功率。

5.2、閃爍計數器

用純銅或黃銅塊量塊測量CuK_α，X射線源的電壓設置在40kV或50kV，電流分別為2，5，10，15，20，25，30，40，50，60mA，依次測量CuK_α的計數率，計數時間10s，每個電流值的計數率測量3次，取平均值。以與上相同的方法計算計數率值的偏差。

表6給出了探測器線性的測試結果。

探測器線性

6、結論

計量檢定是所檢定的儀器符合法定的規程，反應儀器的工作狀態。本文給出的具體計量特性滿足表1中的技術指標，符合計量檢定規程JJG810-1993中[1]技術性能B級要求，在使用過程中，要采取相應措施，確保數據準確。凡不符合表1中技術指標的參數均定為不合格。儀器檢定周期為1年，期間如有儀器故障，修理后應進行儀器檢定，或者單位自制行業內的校準或期間核查，確保檢測數據的準確可靠。如今，評價儀器檢定、校準、期間核查的相關文章都在竭力分清三者在儀器狀態判定中的作用和聯系[6][7]，繼而有對原有的檢定、校準規范進行補充和完善的傾向。在檢定和校準過程中，可以適當增加相應的元素和測量范圍，但需要進行相關實驗，確保溯源性。總之，無論進行哪一項，都需要依據規程來進行，在規程這個大前提下，進行相應的擴項和測量范圍，或者進行有關的不確定度評定。