X射線熒光光譜分析在20世紀80年代初已是一種成熟的分析方法，是實驗室、現場分析主、次量和痕量元素的首選方法之一。X射線熒光光譜儀（XRF）是利用原級X射線或其他光子源激發待測物質中的原子，使之產生熒光（次級X射線）,從而進行物質成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有波長色散型和能量色散型兩種，適用于測定鈹 (Be)以上的化學元素的含量。它的優點是不破壞樣品，分析速度快，分析精度高，樣品制備簡單。X射線熒光光譜儀還可以用于微區分析及確定分層和涂層的厚度和成分。

X-射線與物質的交換

XRF熒光光譜儀是可以對任何種類的樣品進行元素分析的最好分析技術，無論分析的樣品是液體、固體、漿料還是粉末。 它是一種可靠的技術，結合了高精度和準確性以及簡便、快速的樣品制備等優點。可以在要求實現高處理量的工業環境下自動完成使用準備，并且提供定性和定量的樣品相關信息。

XRF熒光譜儀系統通常分為兩大類：波長色散型(WDXRF) 和能量色散型(EDXRF)。

EDXRF熒光光譜儀，一般由光源（X-線管）、樣品室及檢測系統等組成，與波長色散型熒光光儀的區別在于他不用分光晶體及精密運動裝置（測角儀）。

EDXRF 光譜儀的特點：

• 儀器結構簡單小巧，省略了精密運動裝置
• 沒有分光晶體
• X射線管功率低（一般＜50W）
• 無需昂貴的高壓發生器和冷卻系統（空氣冷卻即可）
• 可同時執行元素分析

優點在于X射線利用率高，可同時檢測多元素，價格低；

缺點是靈敏度低、分辨率低、檢出限高（相對于WDXRF）.

WDXRF一般由光源（X-射線管）、樣品室、分光晶體和檢測系統等組成。它可以分析從鈹 (Be) 到鈾 (U) 的各種元素，濃度范圍從100 % 到低至亞ppm 級。

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