直讀光譜儀已經廣泛的使用于各個行業，斯派克直讀光譜儀具有分析準確、快速、性能優越、使用簡單等特點。由于使用儀器頻率的升高，那便會出現設備故障等問題，氣路故障便是其中一個比較突出的故障問題。這篇文章便是儀德公司幫助用戶在使用儀器時，遇到氣路故障應如何分析排除、維修、維護等排障處理。

一、氣路流量故障分析

1.故障分析

真空室快門故障是氣路流量直接導致。該故障表現為Fe1 187.740nm譜線與C、P、S、Sn、As、B等真空室元素光強值非常低。報出結果基本為零,而其它光學室元素正常報出。檢查儀器，真室室快門不能下落。故障分析認為，氣路流量過小或流量搭配不合理，火花臺灰塵落入快門中，使快門不能下落。氣路流量過小又分為激發流量過小與常流量過小兩種情況。

2.故障排除

首先拆下真空室快門，用真空泵油或粘度較小的機油清洗，潤滑快門。在吹氬條件下,調節表閥門，使表 13 與表 14為150L/H與300L/H，表4壓力在0.6-0.8MPa之間。也可根據情況調大 LF、CF，保持較大常流量。正常待機1.0-12MPa。

二、氣路水污染故障分析

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