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1974年第一臺以電咸耦合等離子體（ICP）作為激發光源的ICP發射光譜儀問世。1983年ICP質譜儀開始推出，并很快確立了基市場地位。ICP質譜具有極高的靈敏感度、極少的干憂，使分析結果更為精確，由于ICP質譜的檢出限極低所以，所以儀器需要在潔凈室中動行，以免受環境污染的影響。
X射線定義：l X射線是一種波長較短的電磁輻射,通常是指能量范圍在0.1-100KeV的光子.X射線與物質的相互作用主要有熒光.吸收.散射三種。X射線的熒光物質中的組成元素產生特征輻射,通過測量和分析樣品產生的X射線熒光,即可獲得樣品中的元素組成,得到物質成分的定性和定量信息.l X射線光譜儀通常可分為兩大類:波長色散(WDXRF)和能量色散(EDXRF)X射線熒光光譜儀.l X射線熒光分析技術的缺點是檢出限不夠低,不適于分析輕元素,依賴標樣,分析液體樣品手續比較麻煩.由于電感耦合等離子質譜儀(ICP-MS)具有極
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